使双面印刷电路面板曝光的组件及包括该曝光组件的设备

摘要

本发明涉及一种曝光组件以及一种用于通过一第一与一第二布线图使一双面印刷电路面板曝光的曝光设备，该设备包括至少一个曝光组件，该曝光组件具有一框架(14)、一第一布线图支座(10)和一第二布线图支座(16)、用于使该等布线图支座(10、16)移近/分离的装置(51)、以及用于固持该印刷电路面板的装置。该设备还包括用于检测位置误差的光学检测装置、一光源以及用于引导由所述光源发出的光束的光学装置。该曝光组件还包括能够联合移动该等布线图支座(10、16)共同移动装置(12、18、20、22、24、26、28、30A、30B、30C、32A、32B、34、36、40、42)、以及能相对于该第一布线图支座(10)移动该第二布线图支座(16)的个别移动装置(18、20、22、24、26、28、30A、32A、32B、36、38、42、44)。

主权项

1.一种用于通过一第一布线图(10)和一第二布线图(16)使一双面印刷电路面板(46)曝光的组件，所述第一和第二布线图(10、16)中的每一个设有一配准标记，该组件包括：一固定在一基本水平的平面(X，Y)上的底座(14)，一第一布线图支座(10)与一第二布线图支座(16)，其分别用于支撑该第一和该第二布线图，用于移近/分离的装置(48、48A、48B、51、52、52A、52B、56、56A、54、60A、60B、62、64A、64B)，该等装置能使该等第一和第二布线图支座(10、16)移近到一起和使它们分离，以及用于固持该印刷电路面板(46)以使其相对于该底座(14)固定在其平面上的固持装置(66A、66B、68A、68B)，该印刷电路面板(46)被固持在所述第一与第二布线图支座(10、16)之间，所述印刷电路面板(46)设有一位置配准标记，此组件还包括：能使该等第一和第二布线图支座(10、16)在其平面(X，Y)内相对于该底座(14)作为一共同移动信息的函数联合移动的共同移动装置(12、18、20、22、24、26、28、30A、30B、30C、32A、32B、34、36、40、42)，及个别移动装置(18、20、22、24、26、28、30A、30B、30C、32A、32B、36、38、42、44)，能使该第二布线图支座(16)在其平面(X，Y)上相对于该第一布线图支座(10)作为一个别移动信息的函数移动，。