聚酰胺树脂、正型感光性树脂组合物、图案状树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及制法

摘要

提供含具有通式(1)表示结构的聚酰胺树脂和重氮醌化合物的正型感光性树脂组合物、图案状树脂膜的制造方法、半导体装置及其制造方法，通式(1)的Y总量中0.1摩尔％～30摩尔％为通式(2)的结构：如式1X：2～4价有机基团，Y：2～6价有机基团，R₁：羟基、－O－R₃、m为0～2的整数，可相同或相异，R₂：羟基、羧基、－O－R₃、－COO－R₃、n为0～4的整数，可相同或相异，R₃：1～15个碳的有机基团，(若R₁不是羟基，R₂至少1个必须是羧基。若R₂不是羧基，R₁至少1个必须是羟基)；如式2R₄、R₅：2价有机基团，可相异或相同；R₆、R₇：1价有机基团，可相异或相同；n为0～20。

主权项

1.一种聚酰胺树脂，具有以通式(1)表示的结构，其特征在于，通式(1)中的Y总量中，0.1摩尔％～30摩尔％为以通式(2)表示的结构；X：2～4价的有机基团，Y：2～6价的有机基团，R₁：羟基、-O-R₃、m为0～2的整数，既可以相同也可以相异，R₂：羟基、羧基、-O-R₃、-COO-R₃、n为0～4的整数，既可以相同也可以相异，R₃：碳原子数1～15的有机基团，(但是，当R₁不是羟基时，R₂至少1个必须是羧基，或者，当R₂不是羧基时，R₁至少1个必须是羟基)；R₄、R₅：2价的有机基团，既可以相同也可以相异；R₆、R₇：1价的有机基团，既可以相同也可以相异；n表示0～20。