发明名称 | 压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器 | ||
摘要 | 压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器。压电薄膜谐振器包括:基板;设置在基板上的下电极;设置在下电极上的压电膜;以及设置在压电膜上的上电极。上电极隔着压电膜与下电极相交叠的区域具有椭圆形状,且满足1<a/b<1.9的条件,其中a为该椭圆形状的主轴,b为其副轴。 | ||
申请公布号 | CN1610254A | 申请公布日期 | 2005.04.27 |
申请号 | CN200410087742.9 | 申请日期 | 2004.10.20 |
申请人 | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 | 发明人 | 西原时弘;横山刚;坂下武;岩城匡郁;宫下勉 |
分类号 | H03H9/17;H03H9/54;H01L29/82 | 主分类号 | H03H9/17 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
主权项 | 1、一种压电薄膜谐振器,包括:基板;设置在所述基板上的下电极;设置在所述下电极上的压电膜;以及设置在所述压电膜上的上电极,其中所述上电极隔着所述压电膜与所述下电极相交叠的区域具有椭圆形状,且满足1<a/b<1.9,其中a为该椭圆形的主轴,b为其副轴。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |