| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к технике фокусировки пучков ускоренных заряженных частиц и может быть использована для повышения производительности технологических процессов, в которых применяются пучки ускоренных заряженных частиц. Устройство располагается в вакууммируемом объеме. Фокусировка пучков ускоренных заряженных частиц осуществляется с помощью фокусирующей линзы, состоящей из полого диэлектрического канала в форме усеченного конуса, закрепленного в металлическом корпусе, располагаемой между источником ускоренных заряженных частиц и облучаемым объектом, так что направление сужения конуса совпадает с направлением распространения частиц пучка. При этом металлический корпус фокусирующей линзы электрически последовательно соединен с конденсатором и заземляющим устройством, к выводам конденсатора подсоединен вольтметр, показывающий момент приобретения внутренней диэлектрической поверхностью электрического заряда, обеспечивающего максимальное пропускание фокусирующей системы. Ток сфокусированного пучка измеряется с помощью заслонки-измерителя типа цилиндра Фарадея, устанавливаемой со стороны узкого основания конуса. После измерения величины тока заслонка-измеритель удаляется с направления распространения частиц пучка и пучок направляется на облучаемый объект.</p> |
