发明名称 接合垫区的结构
摘要 本实用新型提供了一种接合垫区的结构,其能够达到在集成电路的结构中有效防止接合垫剥离的目的。一种接合垫区的结构,适用于一半导体基底上,用以打线制作接脚(wire bond)于接合垫表面,其特征在于包括:一图案化介电层,形成于所述半导体基底表面;一顶部金属层,具有复数开口,且设置于所述图案化介电层内,使所述开口内充满所述图案化介电层;以及一接合垫,设置于所述图案化介电层内且与所述顶部金属层重叠,其表面露出于所述图案化介电层外。
申请公布号 CN2696127Y 申请公布日期 2005.04.27
申请号 CN200420049696.9 申请日期 2004.04.22
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 黄泰钧;李资良
分类号 H01L23/50;H01L23/52 主分类号 H01L23/50
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 李强
主权项 1、一种接合垫区的结构,适用于一半导体基底上,用以打线制作接脚(wirebond)于接合垫表面,其特征在于包括:一图案化介电层,形成于所述半导体基底表面;一顶部金属层,具有复数开口,且设置于所述图案化介电层内,使所述开口内充满所述图案化介电层;以及一接合垫,设置于所述图案化介电层内且与所述顶部金属层重叠,其表面露出于所述图案化介电层外。
地址 台湾省新竹科学工业园区