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发明名称 Air lock for clean room
摘要
申请公布号 EP1058065(B1) 申请公布日期 2005.04.27
申请号 EP20000110416 申请日期 2000.05.16
申请人 IMTECH DEUTSCHLAND GMBH & CO. KG 发明人 DETZER, RUEDIGER, PROF. DR.-ING.
分类号 F24F3/16;F24F9/00;(IPC1-7):F24F3/16 主分类号 F24F3/16
代理机构 代理人
主权项
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