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经营范围
发明名称
Polymer and photoresist compositions
摘要
申请公布号
EP1127900(B1)
申请公布日期
2005.04.27
申请号
EP20010301598
申请日期
2001.02.22
申请人
SHIPLEY COMPANY LLC
发明人
SZMANDA, CHARLES R.;BARCLAY, GEORGE G.;TREFONAS, PETER;YUEH, WANG
分类号
C08F10/00;C08F4/00;C08F4/80;C08F32/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F32/08
主分类号
C08F10/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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