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发明名称 DUAL SERVO XY STAGE USING LEAF SPRING GUIDE
摘要
申请公布号 KR20050038375(A) 申请公布日期 2005.04.27
申请号 KR20030073681 申请日期 2003.10.22
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 GWEON, DAE GAB;KANG, DONG WOO;KANG, SUNG HOON;YOO, HONG KI
分类号 G02B21/26;(IPC1-7):G02B21/26 主分类号 G02B21/26
代理机构 代理人
主权项
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