晶粒检测分类装置及其方法

摘要

一种晶粒检测分类装置及其方法。为提供一种直接在晶圆上测试、不需多次移动晶粒、快速定位晶粒、提高晶粒分类检测效率的半导体制造装置及方法，提出本发明，方法包将至少具有一晶粒的晶圆设置于第一平台上；于第一平台下升起定位轴，借以抵起晶粒；借由设置于第一机械手臂上探针测试晶粒；借由第二机械手臂吸取晶粒置入第二平台上；装置包含供具有至少一晶粒的晶圆设置的第一平台、定位轴、第一机械手臂、设有吸取结构的第二机械臂及供晶粒设置的第二平台；定位轴设于第一平台下，且具有可升降的抵端；第一机械手臂设有探针。

主权项

1、一种晶粒检测分类方法，其特征在于它包括如下步骤：步骤一将至少具有一晶粒的晶圆设置于第一平台上；步骤二于第一平台下升起定位轴，借以抵起晶粒；步骤三借由设置于第一机械手臂上探针测试晶粒；步骤四借由第二机械手臂吸取晶粒置入第二平台上。