一种微波功能模块用低介低损耗介质材料及制备方法

摘要

本发明涉及一种微波功能模块用低介低损耗介质材料及制备方法，首先将原料MgO、Al₂O₃、SiO₂、ZnO和B₂O₃混合，熔制玻璃，将玻璃淬冷后得到透明、无析晶的玻璃体，湿法球磨后，再加入TiO₂作为温度系数调节剂，混合、球磨、干燥，压成小圆片，烧成即得到本发明的材料。本发明的优点是：采用了MgO－Al₂O₃－SiO₂－ZnO－B₂O₃系统及TiO₂温度系数调节剂，以及微晶玻璃工艺制造高频多芯片组件微波功能模块用介质材料，尤其是该材料能在低于900℃温度下与Ag电极共烧并烧结成瓷，具有较低的介电常数(ε＜5.5)、低损耗(tanσ＜6×10^－4)、频率温度系数小(τ数等特点，可用于制备多芯片组件微波功能模块、低通滤波器、多层天线等高频微波器件及模块。

主权项

1、一种微波功能模块用低介低损耗介质材料及制备方法，其特征在于：①将原料按下列重量百分比配料：MgO Al2O3 SiO2 ZnO B2O3 TiO2 12～15％ 25％～33％ 48％～53％ 0～5％ 0～5％ 2～10wt％②在上述MgO、Al2O3、SiO2、ZnO和B2O3混合料加入乙醇，在行星磨湿法混合2～3h，在70～80℃烘干，装入高铝坩埚内，熔制玻璃，熔制温度1400～1600℃，保温1～3h。③将玻璃淬冷后得到透明、无析晶的玻璃体，湿法球磨至玻璃粒径1～2um，加入2～10wt％TiO2，球磨混合18～24h，在4～10MPa的压力下压制成小圆片，在850℃～950℃烧结，保温1～6h，得到本发明材料。