一种气囊控制的微量药物输送执行器

摘要

本发明涉及医疗器械领域，是一种新型硅尖微针阵列微执行器的结构和制作方法。一种气囊控制的微量药物输送执行器，由在硅基片一面上利用微电子机械加工工艺刻蚀出硅针阵列和微通道阵列，在硅片的另一面制作反应室，利用PDMS作样品或药物的反应室底部，PDMS隔膜与另一刻蚀有气囊室的硅片组成气囊，气囊内装载含结晶水的氯化锂，气囊外沉积铂金加热电极，使得气囊膨胀压迫反应室，使反应室体积发生变化，实现微量输送药物的目的。

主权项

1、一种气囊控制的微量药物输送执行器，由硅基片，隔膜，硅片，加热电极芯片，电阻层和气囊室组成，其特征在于，气囊室内装有液体，在硅片沉积的电阻层加热下，使得气囊室内的液体汽化，体积膨胀使储存室体积变小，压迫其中的药物由微针喷出，射入人体，实现微量输送药物的目的。