用离子注入工艺处理印制线路板用铣刀的方法

摘要

本发明公开了一种用离子注入工艺处理印制线路板用铣刀的方法，旨在提供一种处理成本低、效率高的用离子注入工艺处理印制线路板用铣刀的方法。该方法是采用金属离子注入机来对所述印制线路板用铣刀进行表面处理的，采用钛离子注入，所述印制线路板用铣刀尺寸为φ1.6mm至φ3.175mm，其技术参数为：真空度为1.2×10^－2pa～3×10^－3pa；氮气质量流量为3～20标准毫升/分钟；工件靶台转速为18转/分钟；真空室温度为30～37℃；冷却水温为20～30℃；引出电压为18KV；负压为－900V；弧压为17～120V；束流为3mA；工作频率为10～20Hz；注入时间为50分钟。本发明应用于生产领域。

主权项

1、一种用离子注入工艺处理印制线路板用铣刀的方法，其特征在于：(A)它是采用金属离子注入机来对所述印制线路板用铣刀进行表面处理的，所述金属离子注入机包括金属离子源(1)、离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、电机(4)、抽真空系统(5)、冷却系统、氮气源(6)、氮气质量流量阀(7)和控制屏，所述金属离子源(1)包括阴极(8)、阴极支架(9)、触发电极(10)、绝缘阴极套(11)、阳极(12)、阳极支架(13)、放电室(14)、等离子体室(15)、第一栅(16)、第二栅(17)和第三栅(18)，所述放电室(14)外周均匀设有4～8个成对的磁柱(19)，所述阳极支架(13)与所述等离子体室(15)之间、所述等离子体室(15)外壁设有4个或4个以上N、S极相间排列的磁环(20)，所述第一栅(16)与所述第二栅(17)之间的距离为5～10mm，所述第一栅(16)、所述第二栅(17)、所述第三栅(18)的栅板均为2～5mm厚，所述第一栅(16)、所述第二栅(17)、所述第三栅(18)上均设有1300～1800个φ3～5mm的小孔，所述离子源供电系统由触发电源(21)、弧压电源(22)、束流引出电源(23)和负压电源(24)组成，所述弧压电源(22)的特性阻抗为1Ω、脉宽为0.44～0.65ms，频率为5～25Hz之间可调。(B)采用钛离子注入，所述印制线路板用铣刀尺寸为φ1.6mm至φ3.175mm。(C)所述用离子注入工艺处理印制线路板用铣刀的方法主要包括下列步骤：(1)所述印制线路板用铣刀前处理：①将所述印制线路板用铣刀放入装有乙醇的超声波清洗机内清洗15到20分钟；②将清洗后的所述印制线路板用铣刀进行风干；③将洗净风干后的所述印制线路板用铣刀放入40～50℃的烘干炉中烘干15到20分钟；(2)对前处理好的所述印制线路板用铣刀进行金属离子注入：①将前处理好的所述印制线路板用铣刀放入所述真空室(2)内的所述工件靶台(3)上；②操作所述控制屏，控制各技术参数：真空度为1.2×10-2pa～3×10-3pa；氮气质量流量为3～20标准毫升/分钟；工件靶台转速为18转/分钟；真空室温度为30～37℃；冷却水温为20～30℃；引出电压为18KV；负压为-900V；弧压为17～120V；束流为3mA；工作频率为10～20Hz；③注入时间持续50分钟后停机，从所述真空室(2)中取出处理好的所述印制线路板用铣刀。