发明名称 Correction of web deformation during a roll-to-roll process using optical markings
摘要
申请公布号 GB2407380(A) 申请公布日期 2005.04.27
申请号 GB20040023431 申请日期 2004.10.21
申请人 * HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. 发明人 WARREN * JACKSON
分类号 H01L21/027;D06H3/12;G01N21/89;G01N21/898;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00;(IPC1-7):G01N21/89;G06T7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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