一种制备氧化锌晶须阵列材料的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备氧化锌晶须阵列材料的装置，所述的装置顺着气路通道依次安装有控制氮气流量的流量计、去除氮气中水分的液氮冷阱、将金属有机物气化的气化室、容纳金属有机物气体的喷嘴装置，以及位于喷嘴装置下方对基片加热的基片台，该装置制备得到的ZnO晶须阵列为圆柱状晶须阵列、长锥状晶须阵列、板条状晶须阵列；该装置中的喷嘴可以同时进行三种不同金属有机物渗混沉积，用来进行精确的组分掺杂或多组分体系化合物晶须的生长。

主权项

1、一种制备氧化锌晶须阵列材料的装置，包括氮气瓶、基片、基片台，其特征在于：还包括流量计、液氮冷阱(4)、气化室(5)、喷嘴装置(7)；所述的装置顺着气路通道(2)依次安装有氮气瓶(1)、控制氮气流量的流量计(3)、去除氮气中水分的液氮冷阱(4)、将金属有机物气化的气化室(5)、容纳金属有机物气体的喷嘴装置(7)，以及位于喷嘴装置(7)下方对基片(8)加热的基片台(9)；所述的氮气瓶(1)至流量计(3)之间安装有对流量计进行保护的截止气阀；所述的液氮冷阱(4)至气化室(5)之间的气路通道(2)的外壁上缠绕有加热带，其加热带上连接有调压器，其在气路通道外壁间还设有热电偶，其热电偶的测温端紧贴气路通道外壁，其接线端接入温度显示仪表；所述的气化室(5)外壁缠绕有加热带，其加热带上连接有调压器，其在气化室(5)内设有热电偶，其接线端伸出气化室接入温度显示仪表；所述的气化室(5)至喷嘴装置(7)的气路通道(2)上设有封闭气路的截止气阀，所述此段气路通道(2)上缠绕有加热带，其加热带上连接有调压器，其在气路通道外壁间还设有热电偶，其热电偶的测温端紧贴气路通道外壁，其接线端接入温度显示仪表；所述的基片台(9)上与基片(8)相接触设有紧贴两者的热电偶，其接线端接入温度显示仪表，其基片(8)表面与喷嘴装置(7)中的喷口(11)底面的法向方向相垂直。