发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR ISOLATING PLATE-LIKE SUBSTRATES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1220739(B1) |
申请公布日期 |
2005.04.27 |
申请号 |
EP20000972741 |
申请日期 |
2000.10.12 |
申请人 |
SCHMID TECHNOLOGY SYSTEMS GMBH |
发明人 |
GENTISCHER, JOSEF |
分类号 |
B28D5/04;B28D5/00;B65G49/07;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
B28D5/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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