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发明名称 WAFERCASSETTE POSITION FIXING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100485567(B1) 申请公布日期 2005.04.27
申请号 KR20030006978 申请日期 2003.02.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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