干涉仪装置的被检透镜载置台

摘要

一种干涉仪装置的被检透镜载置台，该干涉仪装置用于检查球面透镜等的被检透镜的表面状态，能够稳定地保持被检透镜、且为小型而紧凑的构成，能够测定各种类型的被检透镜。透镜座(20)由在上端面上设置3处钢球(23)的透镜载置筒(21)和设置4根外周限制杆(26)的台座部(22)构成，被检透镜(7)在钢球(23)上滑动时，与相邻接的两根外周限制杆(26)抵接而保持稳定，该状态也为被检透镜(7)的外周边缘部被保持为相对于台座部(22)为非接触状态。

主权项

1.一种干涉仪装置的被检透镜载置台，由基准透镜反射从激光光源照射的激光的一部分，由被检透镜被检测面反射来自该基准透镜的透射光，通过观察机构观察产生于这两反射光之间的干涉条纹，其特征在于，具有配置于上述基准透镜的光轴延长线位置上、且可装卸地设置上述被检透镜的透镜座，该透镜座具有：将上述被检透镜的被检面或其相反侧的面所抵接的透镜支承部件设置于前端面上的筒状的透镜载置部；设置于该透镜载置部的下部位置上且由具有至少与上述透镜支承部的内径相同或大于其内径的内径的圆环状部件构成的台座部；立起地设于该台座部上的至少3根外周限制杆，上述各外周限制杆被配置于，在所有的透镜支承部都位于上述被检透镜的范围内的状态下，该被检透镜的外周部至少可与相邻的2根外周限制杆相抵接、并且在该状态下保持相对于上述台座部表面为非接触状态的位置上。