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发明名称 USE OF METAL OXIDE MASKS FOR TREATING SURFACES IN THE PRODUCTION OF MICROCHIPS
摘要
申请公布号 EP1525613(A1) 申请公布日期 2005.04.27
申请号 EP20030787667 申请日期 2003.07.15
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 JAKSCHIK, STEFAN;HECHT, THOMAS;SCHROEDER, UWE;GOLDBACH, MATTHIAS
分类号 H01L21/20;H01L21/311;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/334;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/225;H01L21/033 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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