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发明名称 Method of forming a thin film
摘要
申请公布号 KR100485112(B1) 申请公布日期 2005.04.25
申请号 KR20020019048 申请日期 2002.04.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/44;C23C16/509;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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