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发明名称 FORMATION OF INTERCONNECT METAL BY WET ETCHING IN COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050037886(A) 申请公布日期 2005.04.25
申请号 KR20030073166 申请日期 2003.10.20
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 CHO, KYOUNG IK;JU, CHULL WON;KANG, YOUNG IL;KIM, SEONG IL;LEE, JONG MIN;LEE, KYUNG HO;MIN, BYOUNG GUE;NAM, EUN SOO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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