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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100485034(B1) 申请公布日期 2005.04.25
申请号 KR20027009858 申请日期 2002.07.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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