| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR DETECTING VACUUM LEAKAGE OF SEMICONDUCTOR PRODUCT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050037642(A) |
申请公布日期 |
2005.04.25 |
| 申请号 |
KR20030072868 |
申请日期 |
2003.10.20 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHIN, KYOUNG HWAN |
| 分类号 |
G01M3/04;G01M3/22;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01M3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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