半导体处理电极用气体喷出板

摘要

【物品用途】本创作系有关于一种半导体处理电极用气体喷出板之新式样设计，其主要用途乃如第7图所示，使用于半导体晶圆的蚀刻装置，而其材质为石英等；一旦被安装在处理装置上并连接高频电源，就会在成为上部电极的本创作和下部电极之间形成电浆；而由反应气体供给管所供给的反应气体，会通过设在部的小孔，而流出至真空容器内。【创作特点】如第1图及第6图所示，本创作是为一圆盘状的喷出板，其正背面上具有许多向外扩散的通气用小孔，亦即该些小孔的密度是愈向外愈密集，仅中间部分未布满小孔；此外，由第3图及第4图可清楚看出该喷出板为具有凸缘状的设计，故其整体形成阶段状的板体设计；其使用时乃如第7图所示，被放置在真空容器内，藉此使晶圆获得绝佳的成品效果，并达到品质良率高的晶圆制造功效；综上所述，本创作的某些设计虽是功能上的需求，但却在整体造形上形成特殊且深具科技感的造形，确为一理想美观之设计。

主权项

如图所示「半导体处理电极用气体喷出板」之新 式样。 图式简单说明: 第1图系本创作之前视图。 第2图系本创作之后视图。 第3图系本创作之俯视图。(仰视图与之对称) 第4图系本创作之右侧视图。(左侧视图与之对称) 第5图系本创作之A-A断面图。 第6图系本创作之立体图。 第7图系本创作之使用状态参考图。