Verfahren zur Strukturierung von Oberflächen von mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelementen und/oder Funktionselementen aus glasartigen Materialien
摘要
申请公布号
DE19956654(B4)
申请公布日期
2005.04.21
申请号
DE1999156654
申请日期
1999.11.25
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
QUENZER, HANS-JOACHIM;MERZ, PETER;SCHULZ, ARNE VEIT
