METHOD FOR RADIATION TREATING AN OPTICAL SYSTEM

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Behandlung eines optischen Systems mit Strahlung eines vorgeschalteten Beleuchtungssystems. Erfindungsgemäss werden nacheinander verschiedene Teilbeleuchtungsaperturen des Beleuchtungssystems eingestellt, die jeweils nur einen Teilbereich des Gesamtbehandlungsbereichs des optischen Systems strahlungsbehandelnd beleuchten, wobei sich die nacheinander strahlungsbehandelnd beleuchteten Teilbereiche zum Gesamtfeld des optischen Systems ergänzen. Verwendung z.B. zur Photoreinigung von Projektionsobjektiven in Lithographiebelichtungsanlagen.