发明名称 VERFAHREN ZUR ENDPUNKTBESTIMMUNG EINES REINIGUNGSVERFAHREN UNTER VERWENDUNG EINER DROSSELKLAPPENSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69924252(D1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 DE1999624252 申请日期 1999.05.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 UEDA, HIROYUKI;TANABE, HIROTAKA;OKUBO, MAKOTO;CHANDRAN, SHANKAR;YIEH, ELLIE
分类号 C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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