| 发明名称 |
STRAHLENZUFÜHRUNGSVORRICHTUNG MIT HOHER TRANSMISSION UND NIEDRIGER ENERGIE FÜR IONENIMPLANTIERUNGSGERÄT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60016269(T2) |
申请公布日期 |
2005.04.21 |
| 申请号 |
DE20006016269T |
申请日期 |
2000.09.18 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER |
发明人 |
RENAU, ANTHONY |
| 分类号 |
H01J37/05;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/00 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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