发明名称 Interconnect structure for integrated circuits
摘要 Interconnect structures moderate or eliminate the formation and/or migration of voids in or near via-conductive layer interfaces.
申请公布号 US2005082677(A1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 US20040886421 申请日期 2004.07.07
申请人 FAN SU-CHEN;HU DING-DA 发明人 FAN SU-CHEN;HU DING-DA
分类号 H01L23/053;H01L23/522;H01L23/528;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/053 主分类号 H01L23/053
代理机构 代理人
主权项
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