HOLDER FOR VERY THIN SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung betrifft eine Dünnstsubstrathaltevorrichtung, umfassend eine Rahmenstruktur (1); mindestens einen Halter (2), der in der oder an der Rahmenstruktur (1) montiert ist; der mindestens eine Halter bildet eine Vielzahl von Zwischenräumen zur wenigstens teilweisen Aufnahme von Dünnstsubstraten aus; die Zwischenräume werden durch den mindestens einen Halter (29) derart ausgebildet, dass sie sich im Wesentlichen in einer senkrechten Richtung parallel zueinander erstrecken. Die erfindungsgemäße Dünnstsubstrathaltevorrichtung ist gekennzeichnet durch die folgenden Merkmale: in den Zwischenräumen oder entlang der Zwischenräume sind in dem mindestens einen Halter (2) integrierte oder zusätzliche Abstützelemente (3) vorgesehen, welche die Zwischenräume seitlich in Längsrichtung in vorgegebenen Abständen bis auf einen Aufnahmespalt mit einer definierten Spaltdicke begrenzen.