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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines SOI-Bauteils
摘要
申请公布号 DE19857059(B4) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 DE1998157059 申请日期 1998.12.10
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 SON, JEONG HWAN
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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