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发明名称 CHAMBER FOR REFLOW & WAFLOW METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100486230(B1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 KR19980003147 申请日期 1998.02.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SEON SU
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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