SOLVENT SUPPLY SYSTEM AND RESIST STRIPPING METHOD USING THE SAME,申请号KR19970054196-传众专利搜索

发明名称	SOLVENT SUPPLY SYSTEM AND RESIST STRIPPING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR100486214(B1)	申请公布日期	2005.04.21
申请号	KR19970054196	申请日期	1997.10.22
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KIM, HA SU;PARK, GWANG YEONG;JUN, GI HYEON
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址