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发明名称 CLEANING METHOD OF TRENCH ISOLATION FOR IMPROVEMENT OF TRENCH PROFILE
摘要
申请公布号 KR100486210(B1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 KR19970047206 申请日期 1997.09.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, GEUM JU;SON, HONG SEONG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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