等离子体合成金属氧化物纳米颗粒

摘要

一种气相合成含金属氧化物颗粒减小和甚至消除过大尺寸颗粒的方法，包括：使氧气与一种或多种含卤化钛、卤化硅和选自磷、锗、硼、锡、铌、铬、银、金、钯、铝的化合物和其混合物的蒸汽流在塞状流的等离子反应器进行反应。

主权项

1.一种在等离子反应器中合成含金属氧化物纳米颗粒的方法，该方法包括：(a)同时向反应器中输送氧化剂和一种或多种含金属卤化物、卤化硅和粗尾控制剂的反应物流，所述的粗尾控制剂选自磷、锗、硼、锡、铌、铬、银、金、钯、铝的卤化物和它们的混合物；和(b)在足以形成含金属氧化物纳米颗粒的温度下，使反应物流和氧化剂与等离子体接触，其中颗粒平均粒度的直径在100nm以下和小部分的颗粒直径在200nm以上。