发明名称 |
SONOS存储器及其制造和操作方法 |
摘要 |
一种SONOS存储器,包括:具有源区和漏区以及沟道区的半导体层,和在半导体层上的上部堆叠结构,其与半导体层一起形成上部SONOS存储器。在半导体层下的下部堆叠结构与半导体层一起形成下部SONOS存储器。还提供一种制造和操作SONOS存储器的方法。可以不按照窄设计规则而制造出具有高封装密度的SONOS存储器。 |
申请公布号 |
CN1607668A |
申请公布日期 |
2005.04.20 |
申请号 |
CN200410095200.6 |
申请日期 |
2004.10.10 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金汶庆;金桢雨;李兆远;李殷洪;蔡熙顺 |
分类号 |
H01L27/10;H01L27/108;H01L21/8239;H01L21/8242 |
主分类号 |
H01L27/10 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种SONOS存储器,包括:包括源区和漏区以及沟道区的半导体层;在所述半导体层上形成的上部堆叠结构,从而与该半导体层一起形成上部SONOS存储器;和在所述半导体层之下形成的下部堆叠结构,从而与该半导体层一起形成下部SONOS存储器。 |
地址 |
韩国京畿道 |