发明名称 SONOS存储器及其制造和操作方法
摘要 一种SONOS存储器,包括:具有源区和漏区以及沟道区的半导体层,和在半导体层上的上部堆叠结构,其与半导体层一起形成上部SONOS存储器。在半导体层下的下部堆叠结构与半导体层一起形成下部SONOS存储器。还提供一种制造和操作SONOS存储器的方法。可以不按照窄设计规则而制造出具有高封装密度的SONOS存储器。
申请公布号 CN1607668A 申请公布日期 2005.04.20
申请号 CN200410095200.6 申请日期 2004.10.10
申请人 三星电子株式会社 发明人 金汶庆;金桢雨;李兆远;李殷洪;蔡熙顺
分类号 H01L27/10;H01L27/108;H01L21/8239;H01L21/8242 主分类号 H01L27/10
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种SONOS存储器,包括:包括源区和漏区以及沟道区的半导体层;在所述半导体层上形成的上部堆叠结构,从而与该半导体层一起形成上部SONOS存储器;和在所述半导体层之下形成的下部堆叠结构,从而与该半导体层一起形成下部SONOS存储器。
地址 韩国京畿道