| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING TARGET MATERIAL FROM A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1523386(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.20 |
| 申请号 |
EP20030765197 |
申请日期 |
2003.07.18 |
| 申请人 |
CARGLASS LUXEMBOURG SARL - ZUG BRANCH |
发明人 |
DAVIES, CHRISTOPHER |
| 分类号 |
B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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