发明名称 METHOD OF POLISHING COPPER LAYER
摘要
申请公布号 KR20050035985(A) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 KR20030071280 申请日期 2003.10.14
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 LEE, MIN HYUNG
分类号 C25F3/30;(IPC1-7):C25F3/30 主分类号 C25F3/30
代理机构 代理人
主权项
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