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发明名称
摘要
申请公布号 JP3640971(B2) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 JP19960536329 申请日期 1996.05.17
申请人 发明人
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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