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发明名称 RAPID THERMAL PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050036305(A) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 KR20030071939 申请日期 2003.10.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, YOUNG KWEAN
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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