发明名称 NOZZLE ASSEMBLY FOR APPLYING A LIQUID TO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1523695(A1) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20030764969 申请日期 2003.07.10
申请人 STEAG HAMATECH AG;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHWERSENZ, ANATOL;SAULE, WERNER;NOERING, ANDREAS;DRESS, PETER;BUERGEL, CHRISTIAN;TSCHINKL, MARTIN;STROBL, MARLENE
分类号 G03F7/30;B05B1/14;B05C5/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03D5/04 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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