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发明名称
摘要
申请公布号
JP3640892(B2)
申请公布日期
2005.04.20
申请号
JP20010020043
申请日期
2001.01.29
申请人
发明人
分类号
H01L27/06;G05F1/56;H01L21/8222;H03K17/78;(IPC1-7):H03K17/78;H01L21/822
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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