发明名称
摘要
申请公布号 JP3640892(B2) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 JP20010020043 申请日期 2001.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L27/06;G05F1/56;H01L21/8222;H03K17/78;(IPC1-7):H03K17/78;H01L21/822 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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