显示器件及其制造方法

摘要

一种在绝缘基片上形成的电子电路，它具有由半导体层构成的薄膜晶体管(TFTS)。半导体层的厚度小于1500，例如在100－750之间。在半导体层上形成主要由钛和氮构成的第一层。在所说的第一层上面形成由铝构成的第二层。将此第一和第二层按一定图形刻蚀成导电互连线。此第二层的下表面实质上完全与第一层紧密接触。互连线与该半导体层有良好的接触。

主权项

1.一种显示器件，它包括：在基片上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括源区和漏区；和包括导电氧化物膜的像素电极，所述像素电极通过电极电连接到所述源区和所述漏区中的一个，所述电极包括与所述源区和所述漏区中的一个接触的第一层，形成在所述第一层之上的第二层，及形成在所述第二层之上并与所述像素电极接触的的第三层，其中所述第一层具有隔离特性，所述第二层包括铝，且所述第三层具有隔离特性。