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发明名称 Pumping stage for a vacuum pump
摘要
申请公布号 EP1361366(B1) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20030003184 申请日期 2003.02.19
申请人 VARIAN S.P.A. 发明人 CERRUTI, ROBERTO;GIORS, SILVIO
分类号 F04D19/04;F04D17/16;F04D23/00;(IPC1-7):F04D17/16 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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