发明名称 Structure and fabrication method for capacitors integratible with vertical replacement gate transistors
摘要
申请公布号 GB2381124(B) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 GB20020014017 申请日期 2002.06.18
申请人 * AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORPORATION 发明人 SAMIR * CHAUDHRY;PAUL ARTHUR * LAYMAN;JOHN RUSSELL * MCMACKEN;ROSS * THOMSON;JACK QINGSHENG * ZHAO
分类号 H01L27/04;H01L21/334;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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