发明名称 |
半导体组件测试方法及半导体组件测试系统 |
摘要 |
本发明系关于一半导体组件测试方法,及一系统用以测试半导体组件(3a,3b,3c,3d),藉此数不同的半导体组件测试可被连续地实施,其特征在于一计算机装置(1,6),特别是一测试装置(6)系被提供,藉此使来自一第一测试(A)所获得的测试结果数据(D<SUB>A1</SUB>,D<SUB>A2</SUB>)系被评估,且其造成一另外的测试(E,F)在第一测试(A)之后被提供,以被执行于一修改的模式中,或者被省略,取决于从第一测试所获得的测试结果数据(D<SUB>A1</SUB>,D<SUB>A2</SUB>)。 |
申请公布号 |
CN1607396A |
申请公布日期 |
2005.04.20 |
申请号 |
CN200410061687.6 |
申请日期 |
2004.06.24 |
申请人 |
因芬尼昂技术股份公司 |
发明人 |
M·困德;G·米勒 |
分类号 |
G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
程天正;梁永 |
主权项 |
1.一种用以测试半导体组件(3a,3b,3c,3d)的系统,藉此数不同的半导体组件测试可连续被执行,其特征在于一计算机装置(1,6),特别是一测试装置(6)被提供,藉此在一第一测试(A)之测试结果数据(DA1,DA2)系被评估,且其造成-取决从第一测试所获得的测试结果数据(DA1,DA2)-一另外的测试(E,F)在第一测试(A)之后被提供,系被执行于一不同的模式中,或者被省略。 |
地址 |
联邦德国慕尼黑 |