发明名称 晶片自动测试机中的片仓匣机构
摘要 本实用新型是一种晶片自动测试机中的片仓匣机构,包括匣体及其安装支架、片仓;匣体内安装由电机驱动的滑块直线往复运行装置,与滑块连接的托杆伸入片仓内。本实用新型根据位置传感器的位置信号,由微电脑控制器控制滑块带动托杆运行,使片仓内的晶片按片厚逐一上升至匣顶,取片装置的吸嘴可在同一位置准确对准匣顶的晶片吸取、移送,工作效率提高,特别适合非接触式晶片测试装置。
申请公布号 CN2694481Y 申请公布日期 2005.04.20
申请号 CN200420019728.0 申请日期 2004.01.16
申请人 周巍 发明人 周巍
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 台州市方圆专利事务所 代理人 蔡正保
主权项 1、一种晶片自动测试机中的片仓匣机构,包括匣体(1)及其安装支架(3)、片仓(10);其特征在于匣体(1)内安装由电机(18)驱动的滑块(15)直线往复运行装置,与滑块(15)连接的托杆(8)伸入片仓(10)内。
地址 318000浙江省台州市椒江区云健小区15幢201室