发明名称 PATTERN FORMING METHOD AND DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE, ELECTRIC CIRCUIT, DISPLAY ELEMENT MODULE AND LUMINOUS ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1345261(A4) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20010272299 申请日期 2001.12.21
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 MORI, YOSHIAKI;MIYAKAWA, TAKUYA;TAKAGI, KENICHI;ASUKE, SHINTARO;SATO, MITSURU
分类号 H01L21/00;H01L21/027;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/04;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/320 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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