发明名称 METHOD FOR DOPING OXYGEN TO GaN CRYSTAL AND OXYGEN-DOPED GaN SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100484482(B1) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 KR20020019885 申请日期 2002.04.12
申请人 发明人
分类号 H01L33/00;C30B23/00;C30B23/02;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/38;C30B29/40;C30B33/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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