发明名称 电路板及其制作方法和高输出模块
摘要 一种电路板包括在陶瓷基底(11)上形成第一金属层图形(14),在第一金属层上形成至少0.5μm厚的第二金属层图形(16),其中该第一金属层包含一由Ti/Mo/Ni,Ti/Pt/Ni,Ti/V/Ni,或者Ti/Pd/Ni组成的多层结构,该第二金属层包括Au,Ni/Au,Ag,Pd/Au,Pt/Au,或者V/Au,其中第一金属层通过刻蚀宽度减小。此外,第三金属层(13)可以与第一金属层在同一平面上形成图形。第二金属层(16)的最外层是金属,比如不会被刻蚀的金。该电路板具有精细的和高分辨率的布线图,使在其上面安装至少一个高输出半导体元件、实现小型高性能高输出模块成为可能。
申请公布号 CN1198333C 申请公布日期 2005.04.20
申请号 CN02141292.8 申请日期 2002.07.05
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 田远伸好;中西秀典
分类号 H01L23/15;H01L23/48;H01L21/08;H05K1/00;H05K3/00 主分类号 H01L23/15
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1、一种电路板,包括第一金属层,其在陶瓷基底上形成图形;和第二金属层,其至少0.5μm厚并在第一金属层上形成图形,其中该第一金属层包含一由Ti/Mo/Ni,Ti/Pt/Ni,Ti/V/Ni,或者Ti/Pd/Ni组成的多层结构,该第二金属层包括Au,Ni/Au,Ag,Pd/Au,Pt/Au,或者V/Au,其中第一金属层通过刻蚀宽度减小。
地址 日本大阪府