发明名称 Hydrodynamic bearing apparatus and stage apparatus using the same
摘要 <p>A plurality of preload magnet units (122,132) are arranged on each side of a hydrodynamic bearing (121,131) symmetrically. Preload magnet units (222,232) are arranged inside a labyrinth partition (26,27) to surround the hydrodynamic bearing (221,231) in a non-air atmosphere.</p>
申请公布号 EP1524559(A2) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20040256311 申请日期 2004.10.13
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KIMURA, ATSUSHI
分类号 F16C29/02;F16C32/06;F16C39/06;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 F16C29/02
代理机构 代理人
主权项
地址